Title:
インプリントモールド、これを用いたインプリント評価装置、レジストパターン形成方法及びインプリントモールドの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5114962
Kind Code:
B2
Inventors:
Norihito Fukugami
Application Number:
JP2007031328A
Publication Date:
January 09, 2013
Filing Date:
February 09, 2007
Export Citation:
Assignee:
Toppan Printing Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/027; B29C59/02
Domestic Patent References:
| JP2005539393A |
Other References:
杉澤 行慈 K. Sugisawa,SIMOXマスターモールドを利用した光ナノインプリント評価用高精度モールド High quality mold made from SIMOX master for characterization of UV-nanoimprint,2006年(平成18年)秋季 第67回応用物理学会学術講演会講演予稿集 第2分冊 Extended Abstracts (The 67th Autumn Meeting, 2006); The Japan Society of Applied Physics No.2,(社)応用物理学会,第2巻
Attorney, Agent or Firm:
Takahashi Hayashi & Partners