ガス放電チャンバ - ギガフォトン株式会社

Title:

ガス放電チャンバ

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5630773

Kind Code:

B2

Inventors:

永井伸治
吉田文香
若林理
柿崎弘司

Application Number:

JP2013068220A

Publication Date:

November 26, 2014

Filing Date:

March 28, 2013

Export Citation:

Assignee:

ギガフォトン株式会社

International Classes:

H01S3/034

Attorney, Agent or Firm:

Patent business corporation エビス international patent firm

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