Title:
カンチレバー型プローブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5630947
Kind Code:
B2
Inventors:
古崎 新一郎
上田 守
上田 守
Application Number:
JP2008084018A
Publication Date:
November 26, 2014
Filing Date:
March 27, 2008
Export Citation:
Assignee:
日本電子材料株式会社
International Classes:
G01R1/073; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
Onishi Masao