Title:
多層を基にした電気活性膜の製造
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5690136
Kind Code:
B2
Inventors:
ナイジャル・ピケット
ジェイムズ・ハリス
ジェイムズ・ハリス
Application Number:
JP2010503584A
Publication Date:
March 25, 2015
Filing Date:
April 17, 2008
Export Citation:
Assignee:
ナノコ テクノロジーズ リミテッド
International Classes:
H01L21/368; H01L31/18
Attorney, Agent or Firm:
Nobuyasu Nishioka
Yoshiko Sugioka
Takaomi Tsujimoto
Yoshiko Sugioka
Takaomi Tsujimoto