Title:
オゾン供給装置およびオゾン供給方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6516941
Kind Code:
B1
Abstract:
オゾン発生部（２）で発生したオゾン化ガスを吸脱着塔（４）の第１吸脱着領域（５ａ）および第２吸脱着領域（５ｂ）に吸着させる吸着動作と、第１吸脱着領域（５ａ）からオゾン化ガスを脱着させて第２吸脱着領域（５ｂ）で吸着させて回収する濃縮動作と、原料ガス源（１ａ）からの原料ガスを搬送しながら第２吸脱着領域（５ａ）で回収したオゾン化ガスを脱着させて第１吸脱着領域（５ａ）から吸脱着塔（４）の外部に供給する供給動作を行う。
Inventors:
Matsuura Yoko
Noboru Wada
Ikunuma Manabu
Noboru Wada
Ikunuma Manabu
Application Number:
JP2018560696A
Publication Date:
May 22, 2019
Filing Date:
June 07, 2018
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Electric Corporation
International Classes:
C01B13/10
Domestic Patent References:
| JP54081192A | ||||
| JP2010195673A | ||||
| JP2013040077A | ||||
| JP11043307A | ||||
| JP11043310A |
Attorney, Agent or Firm:
Keigo Murakami
Masuo Oiwa
Kenji Yoshizawa
Takenaka Ikuo
Masuo Oiwa
Kenji Yoshizawa
Takenaka Ikuo