Title:
凝縮粒子カウンタにおける偽カウントの低減
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6522864
Kind Code:
B1
Abstract:
各種実施形態は、水ベース凝縮粒子カウンタ（ＣＰＣ）での粒子の偽カウントを低減する方法及び装置を含む。一実施形態において、クリーンルームＣＰＣは、３つの並列成長管アセンブリを有する。検出器は、３つの並列成長管アセンブリのそれぞれの出口に接続され、３つの成長管アセンブリのそれぞれから測定される粒子濃度を比較するのに使用される。アルゴリズムは、３つの検出器からのカウントを比較し、カウントされた粒子が真カウントであるときと偽カウントであるときとを判定する。真の粒子事象が３つすべての検出器で現れる一方、偽カウントは、１つの検出器のみで検出される。どの粒子カウントレベルで、測定されたカウントが真又は誤とみなされるかを決定するために統計値が使用される。他の方法及び装置も開示される。
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Inventors:
Remears, Richard
Farmer, Kenneth
Farmer, Kenneth
Application Number:
JP2018551245A
Publication Date:
May 29, 2019
Filing Date:
March 31, 2017
Export Citation:
Assignee:
TSI INCORPORATED
International Classes:
G01N15/14
Domestic Patent References:
| JP2018509637A | ||||
| JP2013167589A | ||||
| JP1272940A |
Foreign References:
| US20140336062 | ||||
| US8582100 | ||||
| US20080137065 | ||||
| US20140033915 | ||||
| US20100263731 |
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Onda
Hironobu Onda
Atsushi Honda
Hironobu Onda
Atsushi Honda