Title:
ジルコニア焼結体からなる熱処理用部材
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6594575
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】優れた耐食性及び耐久性を有する上に、焼成する電子部品を均一に加熱することができる熱処理用部材の提供。【解決手段】次の要件ａ）〜ｇ）を満たすジルコニア焼結体からなる熱処理用部材。ａ）Ｙ２Ｏ３を安定化剤とし、結晶相の９９容積％以上が立方晶系ジルコニアであるジルコニア焼結体からなる。ｂ）気孔率が０．３％以下である。ｃ）平均結晶粒径が５〜１０μｍである。ｄ）最小結晶粒径が３μｍ以上、最大結晶粒径が１５μｍ以下である。ｅ）Ａｌ２Ｏ３含有量が０．０５ｗｔ％以下である。ｆ）〔ＳｉＯ２（ｗｔ％）／Ｙ２Ｏ３（ｗｔ％）〕×１００が０．２０以下である。ｇ）Ａｌ２Ｏ３及びＳｉＯ２以外の不純物量が０．０２ｗｔ％以下である。【選択図】なし
Inventors:
Koji Hirashita
Kubo Keisuke
Hironori Naka
Koji Onishi
Kubo Keisuke
Hironori Naka
Koji Onishi
Application Number:
JP2019040270A
Publication Date:
October 23, 2019
Filing Date:
March 06, 2019
Export Citation:
Assignee:
Nikkato Co., Ltd.
International Classes:
C04B35/488; F27D3/12
Domestic Patent References:
| JP200582429A | ||||
| JP2006256924A | ||||
| JP2003300782A |
Attorney, Agent or Firm:
Toshio Okamoto