Title:
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6917668
Kind Code:
B1
Abstract:
定量分析の結果に対する信頼性を容易に判断でき、測定条件や蛍光Ｘ線分析装置、試料、試料の前処理等に異常がある場合に速やかに異常があったことを認識できるエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置であって、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得するスペクトル取得部と、前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算部と、前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算部が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価部と、を有する。
Inventors:
Shinya Kikuta
Application Number:
JP2021520628A
Publication Date:
August 11, 2021
Filing Date:
November 30, 2020
Export Citation:
Assignee:
Rigaku Corporation
International Classes:
G01N23/223
Domestic Patent References:
| JP2010107261A | 2010-05-13 | |||
| JP2014173864A | 2014-09-22 | |||
| JP2019109201A | 2019-07-04 |
Foreign References:
| WO2005106440A1 | 2005-11-10 |
Attorney, Agent or Firm:
Haruka International Patent Office