Title:
電子銃、電子線適用装置および照射位置移動方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6925090
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】フォトカソードを長寿命化できる電子銃、当該電子銃を搭載した電子線適用装置、および照射位置移動方法を提供する。【解決手段】電子銃は、フォトカソード３に照射される励起光Ｌを移動させる移動装置と制御部を含み、制御部はフォトカソード３上の位置Ｒn（ｎは自然数）から位置Ｒnにおける励起光照射劣化範囲以外の位置Ｒn+1に励起光３の照射位置を移動させるように移動装置を制御し、励起光照射劣化範囲は励起光３の照射によってフォトカソード３が劣化する範囲であり、位置Ｒnにおける励起光Ｌのスポットの中心と位置Ｒn+1における励起光Ｌのスポットの中心との距離はフォトカソード３上における励起光Ｌのスポット径の少なくとも３倍以上である。【選択図】図２
More Like This:
Inventors:
Tomohiro Nishitani
Application Number:
JP2021074108A
Publication Date:
August 25, 2021
Filing Date:
April 26, 2021
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J37/073
Domestic Patent References:
| JPH10334842A | 1998-12-18 | |||
| JP2014512069A | 2014-05-19 | |||
| JP2009146884A | 2009-07-02 | |||
| JP2002500809A | 2002-01-08 |
Foreign References:
| WO2019221119A1 | 2019-11-21 | |||
| US20090206283 | 2009-08-20 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto