Title:
ウエハエッジ部の改質装置及び改質方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6932865
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】レーザ熱処理を用いたウエハエッジ部の改質装置において、ノッチ部のように複雑な３次元形状であっても、高精度かつ連続的にレーザ走査し、高品質で高速な表面処理を行う。【解決手段】レーザ光源１０からのレーザ光５をノッチ部４へ照射する光学系を有し、光学系は、レーザ光５を反射して、側面がくの字状に組み合わされ凹面鏡となる円弧型であるミラー９へ導くポリゴンミラー７と、断面形状が平凸型で上面から見て曲面形状となった３次元曲面体であり、ミラー９で反射したレーザ光５をノッチ部４へ集光する集光レンズ８と、を備え、ポリゴンミラー７を回転することでノッチ部４へレーザ光５を走査して照射する。【選択図】図３
Inventors:
Tsuru Tara
Application Number:
JP2021045451A
Publication Date:
September 08, 2021
Filing Date:
March 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; G02B26/12
Domestic Patent References:
| JP2020131218A | 2020-08-31 | |||
| JP2020141088A | 2020-09-03 | |||
| JPH1167700A | 1999-03-09 |
Foreign References:
| WO2009157319A1 | 2009-12-30 | |||
| WO2009078324A1 | 2009-06-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshinobu Kanayama