Title:
ファンフィルタユニット及びその製造方法、露光装置、並びにデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2002053267
Kind Code:
A1
Abstract:
ファンフィルタユニット（１００）は、ユニット本体（１８０）と、その内部に形成された流路（１３０）内を通過する気体中に含まれるアンモニア、硫黄酸化物、窒素酸化物、及び有機物の少なくとも一つである除去対象の化学物質を選択的に除去するフィルタ部（１４０）とを備えている。従って、設置場所の気体中に含まれる化学的汚染物質を選択的に除去し、ケミカルクリーンな気体を送出することができる。例えば、ファンフィルタユニット（１００）を露光装置のチャンバに接続することにより、チャンバ内の空間をケミカルクリーンな状態に維持することができる。
Inventors:
押川 識
村山 正幸
木村 隆昭
村山 正幸
木村 隆昭
Application Number:
JP2002554212A
Publication Date:
April 30, 2004
Filing Date:
December 26, 2001
Export Citation:
Assignee:
株式会社ニコン
International Classes:
H01L21/027; B01D46/00; B01D53/04; F24F7/06; G03F7/20
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