Title:
小型パッケージ分光センサーユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003091676
Kind Code:
A1
Abstract:
検査対象物の内部を通ってきた透過光を光ファイバーに入光させ、その光を分光分析して検査対象物の内部品質や成分を測定、検査するために小型パッケージ化した分光センサーユニットである。所定入射角以内の光だけを通す光ファイバー束を、その受光面から入光された光の斑が出光側で均等に分散するように撚り合せ、かつこの光ファイバー束の出光面の形状が、光拡散体の入光側端面および光電変換素子の受光面の大きさと一致するように整形維持ホルダーにより保持させ、さらにその光ファイバー束の出光面からの光を拡散透過させる光拡散体と、該光拡散体の出光端面に設けられる連続可変干渉フイルターと、この連続可変干渉フイルターに続いて設けられる光電変換素子を具備し、さらに、前記光ファイバー束と光拡散体と連続可変干渉フイルターのそれぞれの光路を一致させ、かつそれらをパッケージ内で気密状態にシール保持させる。
Inventors:
前田 弘
水野 俊博
水野 俊博
Application Number:
JP2004500017A
Publication Date:
September 02, 2005
Filing Date:
April 23, 2002
Export Citation:
Assignee:
前田 弘
水野 俊博
水野 俊博
International Classes:
G01J3/26; G01J3/02; G01J3/28; G01J3/36; G01J3/45; G01N21/35
Domestic Patent References:
| JPH09508291A | 1997-08-26 | |||
| JPH09219563A | 1997-08-19 | |||
| JP2001083259A | 2001-03-30 | |||
| JP2000283847A | 2000-10-13 | |||
| JP2001349781A | 2001-12-21 | |||
| JP2002022938A | 2002-01-23 | |||
| JPH11194091A | 1999-07-21 | |||
| JPS62267624A | 1987-11-20 | |||
| JPS6457134A | 1989-03-03 | |||
| JPS57151830A | 1982-09-20 | |||
| JPS5339784A | 1978-04-11 |
Foreign References:
| US5604594A | 1997-02-18 |