磁性ガーネット単結晶膜形成用基板、光学素子およびその製造方法

Japanese Patent JPWO2004067813

A1

結晶欠陥や反り、割れ、剥離などが発生しない厚膜状の磁性ガーネ磁性ガーネット単結晶膜を液相エピタキシャル成長させるための磁性ガーネット単結晶膜形成用基板２である。この基板２は、液相エピタキシャル成長させるために用いるフラックスに対して不安定なガーネット系単結晶から成るベース基板１０と、ベース基板１０における結晶育成面１０ａに形成され、フラックスに対して安定なガーネット系単結晶薄膜から成るバッファ層１１ａと、ベース基板１０における結晶育成面と交差する前記ベース基板の側面１０ｂに少なくとも形成され、フラックスに対して安定な保護層１１ｂと、を有する。この基板を用いて、良質の磁性ガーネット単結晶膜を製造することができる。この磁性ガーネット単結晶膜は、光アイソレータ、光サーキュレータ、光磁気センサなどに用いられるファラデー素子などの光学素子として用いられる。

Kiyoshi Uchida
Yukio Sakashita
Atsushi Oido

JP2005504724A

May 18, 2006

January 28, 2004

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tdk Corporation

C30B29/28; C30B19/02; G02F1/09; H01F10/24; H01F41/28; G02F1/00

Hitoshi Maeda
Shingo Nishide
Koichiro Okura
Miki Sato

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