Title:
平面モータ装置、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006006730
Kind Code:
A1
Abstract:
高い加速度での移動が可能であるとともに高い位置決め精度を実現することができ、且つ効率的に駆動を行うことができる平面モータ装置等を提供する。平面モータ（１５）は、ベース部材（１４）に設けられる固定部（１６）とステージユニット（ＷＳＴ１）に設けられる移動部（１７）とを含んで構成される。固定部（１６）は、ＸＹ面内で所定間隔で配列されて周囲にコイル（２１）が巻回されたコア部材（２２）を備えており、このコア部材（２２）の頭部（２２ａ）の先端部は略一面に含まれるよう設定される。ステージユニット（ＷＳＴ１）が備える第１ステージ（２５）の底面には、所定の間隔でＸ方向及びＹ方向に配列された永久磁石（２６）が設けられている。
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Inventors:
Kazuya Ono
Application Number:
JP2006529258A
Publication Date:
May 01, 2008
Filing Date:
July 13, 2005
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H02K41/03; H01L21/027; H02K41/02
Domestic Patent References:
| JPH1159901A | 1999-03-02 | |||
| JPH05501495A | 1993-03-18 | |||
| JPH03178747A | 1991-08-02 | |||
| JP2004187376A | 2004-07-02 | |||
| JP2000125536A | 2000-04-28 |
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga