Title:
圧電薄膜共振子およびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006067949
Kind Code:
A1
Abstract:
構成膜を均一に平坦化して、共振周波数や共振抵抗のバラツキを小さくすることができる、圧電薄膜共振子およびその製造方法を提供する。ａ）少なくとも一つの平坦な主面を有する基板１１と、ｂ）基板１１の主面に支持された少なくとも２箇所の支持部分と、ｃ）支持部分に接続され基板１１の主面との間に空隙層１３を介して配置された浮き部分とを有する誘電体膜１２と、ｄ）一対の励振電極１４，１８の間に圧電薄膜１６が挟まれてなり、誘電体膜１２の浮き部分の空隙層１３とは反対側に設けられる振動部１９と、を備える。誘電体膜１２の基板１１とは反対側の面が、不活性ガス又は誘電体膜を構成する元素を含むガスを用いたプラズマ処理により平坦化される。
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Inventors:
Hidetoshi Fujii
Kubo Ryuichi
Kubo Ryuichi
Application Number:
JP2006548767A
Publication Date:
June 12, 2008
Filing Date:
December 05, 2005
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
H03H9/17; H01L41/09; H01L41/18; H01L41/22; H01L41/24; H01L41/332; H01L41/338; H01L41/39; H03H3/02
Attorney, Agent or Firm:
Toshinori Yamamoto