Title:
露光装置及びデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007007746
Kind Code:
A1
Abstract:
露光装置（ＥＸ）は、第１ステージ（ＷＳＴ）と、第２ステージ（ＭＳＴ）とを備える。メンテナンス装置（５５）は、第１ステージに保持されたウェハ（Ｗ）の露光処理の最中に第２ステージ（ＭＳＴ）のメンテナンスを行う。
Inventors:
Mizutani Takeyuki
Okumura Masahiko
Hirono Kono
Okumura Masahiko
Hirono Kono
Application Number:
JP2007524654A
Publication Date:
January 29, 2009
Filing Date:
July 11, 2006
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H01L21/027; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi