Title:
圧電振動デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007040051
Kind Code:
A1
Abstract:
ベース４のパッケージ内周面１３は、垂直面１４と水平面１５とで構成され、ベース４の垂直面１４に電極パッド７（７１〜７８）が形成されている。電極パッド７１〜７８は、垂直面１４と水平面１５との交わる交線１７上を含むベース４の垂直面１４に形成され、例えば、異電極となる電極パッド７４，７５が隣接して形成されている。ベース４の垂直面１４の交線１７上に沿った隣接する電極パッド７４，７５間の距離は、ベース４の垂直面１４における隣接する電極パッド７４，７５間の最短距離より長い。
Inventors:
Toshiya Matsumoto
Application Number:
JP2007538692A
Publication Date:
April 16, 2009
Filing Date:
September 20, 2006
Export Citation:
Assignee:
Great Vacuum Co., Ltd.
International Classes:
H03B5/32; H01L23/04; H01L23/08; H03H9/02
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiro Kurauchi
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