Title:
滅菌方法およびプラズマ滅菌装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007080907
Kind Code:
A1
Abstract:
被滅菌体を真空容器内に配置し真空容器内を減圧する（Ｓ１００）。３Ｐａに到達したか否かを判断し（Ｓ１０２）、到達したら、真空容器と真空ポンプの間に配されたカットオフバルブを閉鎖する（Ｓ１０４）。高周波電力を電極に供給し（Ｓ１０６）、０．１秒間、酸素ガスを真空容器内に導入し（Ｓ１０８）、その後３秒間圧力を一定とし（Ｓ１１０）、真空容器内が１０ｋＰａに到達したか否かを判断し（Ｓ１１２）、１０ｋＰａになるまでＳ１０８〜Ｓ１１２を繰り返す。１０ｋＰａに達したら、カットオフバルブを開放して真空容器内を減圧し（Ｓ１１４）、高周波電力の供給を停止する（Ｓ１１６）。Ｓ１００〜Ｓ１１８を繰り返し、９０分経過後、真空容器内を大気圧に戻す（Ｓ１２０）。
Inventors:
Yasushi Hanada
Shinya Hayashi
Shinya Hayashi
Application Number:
JP2007553924A
Publication Date:
June 11, 2009
Filing Date:
January 11, 2007
Export Citation:
Assignee:
Elk Corporation Co., Ltd.
National University Corporation Saga University
National University Corporation Saga University
International Classes:
A61L2/14
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Kawano
Previous Patent: DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY
Next Patent: METALLIZED FILM CAPACITOR AND CASE MOLD CAPACITOR USING SAME
Next Patent: METALLIZED FILM CAPACITOR AND CASE MOLD CAPACITOR USING SAME