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Title:
プラズマ発生体及び装置、並びにプラズマ発生体の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008053940
Kind Code:
A1
Abstract:
周囲の雰囲気や稼動時の熱に起因する熱応力によっても、セルが変形しにくいプラズマ発生体、ならびに、これを用いた装置等を提供することにある。平板状の第１電極３を支持してなる第１電極部１と、第１電極部１に対向して配置されるとともに、平板状の第２電極４を支持してなる第２電極部２と、平面視で第１絶縁部３および第２絶縁部４対向面の外周部に設けられ、第１電極部１及び第２電極部２を支持する一対の壁部７とからなるセル８を備え、セル８内を流体が流れるプラズマ発生体であって、セル８内に、一端が第１電極部１に接合され、他端が第２電極部２に向かって延在された柱部９が形成されている。

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Inventors:
Fukuda Kenjiro
Yuichi Furumoto
Shingo Sato
Yosuke Moriyama
Application Number:
JP2008542167A
Publication Date:
February 25, 2010
Filing Date:
October 31, 2007
Export Citation:
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Assignee:
Kyocera Corporation
International Classes:
H05H1/24; B01D53/50; B01D53/56; B01D53/72; B01D53/74; B01J19/08; C01B13/11; F01N3/08
Domestic Patent References:
JP2003286829A2003-10-10
JP2004092589A2004-03-25
JP2005093107A2005-04-07
JP2005093423A2005-04-07
JP2006278652A2006-10-12
Foreign References:
WO1960070838A1
Attorney, Agent or Firm:
Takahisa Sato



 
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