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Title:
薄膜太陽電池モジュールの製造方法及び薄膜太陽電池モジュール
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009139389
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】信頼性の高い絶縁耐圧特性を確保することができる薄膜太陽電池モジュールの製造方法及び薄膜太陽電池モジュールを提供する。【解決手段】本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、絶縁性の透明基板１０上に第１の電極層１１を形成し、透明基板１０の周辺領域３０Ｘ，３０Ｙとその内側の発電領域５０とを分離する第１の分離溝２１Ｘ，２１Ｙを透明基板１０の表面に達する深さで形成し、透明基板１０上に半導体層１３を形成し、透明基板１０上に第２の電極層１２を形成し、第１の分離溝２１Ｘ，２１Ｙよりも周辺領域３０Ｘ，３０Ｙ側に位置する第２の分離溝２２ａ，２２Ｘ，２２Ｙを透明基板１０の表面に達する深さで形成し、周辺領域３０Ｘ，３０Ｙをブラスト処理して周辺領域３０Ｘ，３０Ｙ上の第１の電極層１１、半導体層１３及び第２の電極層１２を除去する。【選択図】図１

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Inventors:
Hiroto Uchida
Yuko Taguchi
Jin Ueda
Takayama Michihiro
Application Number:
JP2010511988A
Publication Date:
September 22, 2011
Filing Date:
May 12, 2009
Export Citation:
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Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
H01L31/04
Attorney, Agent or Firm:
Junichi Omori
Ori Akira



 
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