Title:
塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010113813
Kind Code:
A1
Abstract:
高感度で、適用可能な範囲が広い塩基発生剤、及び、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体の構造上適用可能な選択肢の範囲が広い感光性樹脂組成物を提供する。下記化学式（１）で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤、並びに、当該塩基発生剤及び塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物である。（式中の記号は明細書中に記載の通りである。）
Inventors:
Asami Katayama
Shunji Fukuda
Katsuya Sakayori
Koji Kawaguchi
Shunji Fukuda
Katsuya Sakayori
Koji Kawaguchi
Application Number:
JP2011507159A
Publication Date:
October 11, 2012
Filing Date:
March 26, 2010
Export Citation:
Assignee:
Dai Nippon Printing Co.,Ltd.
International Classes:
C09K3/00; C07D295/18; C07D309/12; C07D317/64; C08K5/04; C08L101/00; C09D7/63; C09D11/00; C09D179/04; C09D179/08; C09D183/04; C09D201/00; C09D201/02; C09J11/06; C09J179/04; C09J179/08; C09J183/04; C09J201/00; C09J201/02; C09K3/10
Attorney, Agent or Firm:
Kishimoto Tatsuto
Akihiko Yamashita
Akihiko Yamashita