Title:
メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材の表面処理方法及びこの表面処理方法により処理されたメカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010116747
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、耐食性に優れ放出ガスの少ないメカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材の表面処理方法及びこの表面処理方法により処理されたドライポンプを提供することを目的とする。メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ又はドライポンプを構成する部材を、アルミニウム又はアルミニウム合金から構成し、前記部品表面を、アルカリ溶液中に浸漬して、マイクロアーク酸化処理することを特徴とする。
Inventors:
Fumiaki Ishigure
Inayoshi Sakae
Tatsuya Miura
Hiroshi Sato
Yuichi Ishikawa
Inayoshi Sakae
Tatsuya Miura
Hiroshi Sato
Yuichi Ishikawa
Application Number:
JP2011508253A
Publication Date:
October 18, 2012
Filing Date:
April 08, 2010
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
C25D11/04; C25D11/06; F04D19/02; F04D19/04
Attorney, Agent or Firm:
Yoshihiro Shimizu
Shinichi Abe
Yuji Tsujida
Shinichi Abe
Yuji Tsujida
Previous Patent: Ｃｕ−Ａｌ−Ｃｏ系合金の電極・配線を具備した電子部品
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