Title:
銅系ナノ粒子高濃度分散液を用いた導体膜とその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011048937
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】 短時間かつ低温処理によって低抵抗な導体膜とその製造方法を提供する。【解決手段】Ｃｕ２Ｏを主成分とする銅系ナノ粒子の高濃度分散液を調製するステップＳａ１と、前記高濃度分散液を基材上に塗布及び乾燥してＣｕ２Ｏを主成分とする塗膜を得るステップＳａ２と、大気圧中で前記塗膜を２００℃以下の温度で加熱するステップＳａ３−１と、還元性雰囲気中で前記塗膜を２５０℃以下の温度で加熱するステップＳａ３−２とを備える。【選択図】 図１
Inventors:
Kawasaki Mitsuo
Hitoshi Wada
Masayuki Sugimoto
Osamu Kajita
Hitoshi Wada
Masayuki Sugimoto
Osamu Kajita
Application Number:
JP2011537195A
Publication Date:
March 07, 2013
Filing Date:
October 04, 2010
Export Citation:
Assignee:
Kyoto University
Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.
Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.
International Classes:
H01B13/00; H01B5/14; H05K3/10; H05K3/12
Attorney, Agent or Firm:
Masashi Moriwaki
Tetsuro Kawahara
Tetsuro Kawahara
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