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Title:
電磁波共振器とその製造方法、およびそれを用いた電磁波発生素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011108562
Kind Code:
A1
Abstract:
表面波を利用した電磁波共振器において、既存技術で過度の困難性なく実現できるとともに、正誘電体領域に電圧を印加できるようにすることで、従来、熱励起しか利用できなかったことによる種々の問題を解消する電磁共振器構造を与えることを課題とする。この種の電磁波共振器が必要とする負誘電体/正誘電体/負誘電体の接触構造を、負誘電体1表面に、Y軸方向に伸びる正誘電体薄膜3とその中に設けられる負誘電体2の同軸構造を軸方向に切断したような構造を設ける。これにより、正誘電体薄膜3を両側から挟む2つの負誘電体1,2は電気的に絶縁されるため、正誘電体膜3に電圧を印加できる。また、負誘電体1中に設けられ正誘電体膜3を収容する領域のアスペクト比D/P1は1.9程度と、十分実現可能な値におさまっている。

Inventors:
Hideki Miyazaki
Hiroshi Miyazaki
Yuuki Ebe
Application Number:
JP2012503199A
Publication Date:
June 27, 2013
Filing Date:
March 02, 2011
Export Citation:
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Assignee:
National Institute for Materials Science
International Classes:
G02F1/01; H01S5/10
Attorney, Agent or Firm:
Satoru Matsumoto