Title:
表面検査装置及びその方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012081623
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】露光時のフォーカス状態を短時間で精度よく計測可能な装置を提供する。【解決手段】所定のパターンを有するウェハ１０の表面を照明系２０により照明し、ウェハ１０からの光による画像を撮像する撮像装置３５と、画像の信号強度とフォーカスオフセット量との関係を示すフォーカスカーブに関する情報（基準データ）を記憶する記憶部４５と、記憶部４５に記憶された基準データを利用して、撮像装置３５により撮像された画像の信号強度から、ウェハ１０上のパターンに対する露光時のフォーカス状態を判定する画像処理部４０とを有して表面検査装置１が構成される。【選択図】図１
Inventors:
Kazuhiko Fukasawa
Yoshihiko Fujimori
Shinsuke Takeda
Yoshihiko Fujimori
Shinsuke Takeda
Application Number:
JP2012548813A
Publication Date:
May 22, 2014
Filing Date:
December 14, 2011
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G01B11/24; G03F7/20; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Kijuro Kawakita