Title:
ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014024865
Kind Code:
A1
Abstract:
ターゲット供給装置（７）は、ターゲット物質を貯蔵する貯蔵部（７１ａ）と、貯蔵部（７１ａ）に連通してターゲット物質が流入する供給部（７１ｂ）とを含むタンク（７１）と、供給部（７１ｂ）に連通してターゲット物質が供給されるノズル孔（７２ａ）を含むノズル（７２）と、ノズル孔（７２ａ）の壁面を覆うコーティング部（８）と、を備えてもよい。
Inventors:
Shinji Okazaki
Takanobu Ishihara
Yutaka Shiraishi
Takanobu Ishihara
Yutaka Shiraishi
Application Number:
JP2014529501A
Publication Date:
July 25, 2016
Filing Date:
August 06, 2013
Export Citation:
Assignee:
Gigaphoton Co., Ltd.
International Classes:
H05G2/00; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Kobayashi International Patent Office