Title:
フィルム状モールドを用いた光学基板の製造方法、製造装置及び得られた光学基板
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014054678
Kind Code:
A1
Abstract:
光学基板の製造方法は、凹凸パターン面を有する長尺状のフィルム状モールドを用意する工程Ｓ０と、フィルム状モールドの前記凹凸パターン面にゾルゲル材料の塗布を形成する工程Ｓ２と、前記ゾルゲル材料の塗膜が形成された前記フィルム状モールドの前記凹凸パターン面と基板を対向させて、押圧ロールを前記フィルム状モールドの前記凹凸パターン面と反対側の面に押し付けて前記凹凸パターン面に形成された前記塗膜を前記基板に密着させる工程Ｓ３と、前記フィルム状モールドを前記塗膜から剥離する工程Ｓ４と、前記基板に密着した塗膜を硬化する工程Ｓ５とを有する。光の回折や散乱に用いられ、耐熱性及び耐候性を有する光学基板を高いスループットで製造することができる。
Inventors:
Shiritaka Toriyama
Ryo Nishimura
Naoto Kosasa
High Hashi Asato
Ryo Nishimura
Naoto Kosasa
High Hashi Asato
Application Number:
JP2014538939A
Publication Date:
August 25, 2016
Filing Date:
October 02, 2013
Export Citation:
Assignee:
jx energy corporation
International Classes:
B29C59/02; G02B5/02; G09F9/00; G09F9/30; H01L21/027; H01L27/32
Domestic Patent References:
| JP2010525968A | 2010-07-29 | |||
| JP2009517310A | 2009-04-30 | |||
| JP2005258055A | 2005-09-22 | |||
| JP2008068611A | 2008-03-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Kijuro Kawakita