Title:
電界集中位置観察装置および電界集中位置観察方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014129377
Kind Code:
A1
Abstract:
観察装置１０Ａは、レーザ光源１８と、レーザ光源１８から出力されたレーザ光を半導体装置３２へ照射するスキャン光学系１６と、半導体装置３２の電極間に所定電圧である逆バイアス電圧を印加するバイアス電源２２と、レーザ光に起因して半導体装置３２に生じる電気特性を検出するセンサ２４と、センサ２４からの検出信号に基づいて半導体装置３２の電気特性画像を生成する制御システム２８とを備える。バイアス電源２２は、所定電圧の大きさを、半導体装置３２にアバランシェ増幅作用が生じる電圧に達するまで段階的に増加させる。そして、所定電圧が増加すると、スキャン光学系１６がレーザ光を照射し、センサ２４が電気特性を検出し、制御システム２８が電気特性画像を生成する。これにより、電界集中箇所を正確に知ることができる電界集中位置観察装置および観察方法が実現される。
Inventors:
Nakamura common rule
Application Number:
JP2015501415A
Publication Date:
February 02, 2017
Filing Date:
February 13, 2014
Export Citation:
Assignee:
Hamamatsu Photonics Co., Ltd.
International Classes:
G01R31/26; G01R31/302; H01L21/66
Domestic Patent References:
| JPH11340293A | 1999-12-10 | |||
| JP2006234789A | 2006-09-07 | |||
| JP2012058247A | 2012-03-22 |
Foreign References:
| US6346821B1 | 2002-02-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Satoru Ishida
Yoshiki Kuroki
Kenichi Shibayama
Satoru Ishida
Previous Patent: PYRROLOPYRIDINE AS KINASE INHIBITOR
Next Patent: QUINOLINONE DERIVATIVE AS TYROSINE KINASE INHIBITOR
Next Patent: QUINOLINONE DERIVATIVE AS TYROSINE KINASE INHIBITOR