Title:
Ｘ線分析装置及びコンピュータプログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015125604
Kind Code:
A1
Abstract:
試料の形状による影響を低減したＸ線強度分布を求めることができるＸ線分析装置及びコンピュータプログラムを提供する。Ｘ線分析装置は、試料５上でビームを照射した各部分から発生したＸ線を複数のＸ線検出器で検出し、相対比の大きさに対して単純増加する重み係数を夫々に乗じた複数のＸ線強度を加算した重み付き加算値を計算する。Ｘ線分析装置は、計算した重み付き加算値を試料５上の各部分でのＸ線強度として、試料５から発生したＸ線の強度分布を生成する。Ｘ線強度の重み付き加算値は、試料５の形状の影響で減衰したＸ線強度の寄与が小さく、減衰の無いＸ線強度に近い。重み付き加算値を試料５の各部分でのＸ線強度としたことで、試料５の形状による影響を低減したＸ線強度分布が得られる。
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Inventors:
Satoshi Ohashi
Ryuji Komatsubara
Hiroyuki Koshikawa
Ryuji Komatsubara
Hiroyuki Koshikawa
Application Number:
JP2016504021A
Publication Date:
March 30, 2017
Filing Date:
February 04, 2015
Export Citation:
Assignee:
HORIBA, Ltd.
International Classes:
G01N23/225; G01N23/223
Domestic Patent References:
| JP2014153342A | 2014-08-25 | |||
| JP2002310957A | 2002-10-23 |
Foreign References:
| WO2013084904A1 | 2013-06-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Hideno Kono
Nobuo Kono
Nobuo Kono
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