Title:
感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016027546
Kind Code:
A1
Abstract:
感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、下記塩基性化合物（Ａ１）及び（Ａ２）の少なくともいずれかに該当する塩基性化合物（Ａ）を含む。（Ａ１）１分子中に、脂環構造（ａ１）、及び、上記脂環構造とは異なる部位に、塩基性部位（ｂ２）を有する、非イオン性化合物（Ａ２）１分子中に、塩基性を有さない複素環構造（ａ２）、及び、上記複素環構造とは異なる部位に、塩基性部位（ｂ２）を有する非イオン性化合物
Inventors:
Kataoka Shohei
Akinori Shibuya
Wang Ye-yeon
Akinori Shibuya
Wang Ye-yeon
Application Number:
JP2016543846A
Publication Date:
April 27, 2017
Filing Date:
June 01, 2015
Export Citation:
Assignee:
FUJIFILM Corporation
International Classes:
G03F7/004; C07C229/42; C07D233/60; C07D235/08; C07D295/155; C07D311/82; C07D409/06; C08F212/14; C08F220/18; C08F220/28; G03F7/038; G03F7/039; G03F7/20; G03F7/32
Domestic Patent References:
| JP2004294552A | 2004-10-21 | |||
| JP2013225094A | 2013-10-31 | |||
| JP2013057836A | 2013-03-28 | |||
| JPH1152575A | 1999-02-26 | |||
| JP2000298348A | 2000-10-24 | |||
| JP2001194776A | 2001-07-19 | |||
| JP2002226470A | 2002-08-14 | |||
| JP2014074896A | 2014-04-24 | |||
| JP2003122011A | 2003-04-25 | |||
| JP2014115638A | 2014-06-26 | |||
| JP2005306812A | 2005-11-04 | |||
| JP2008107513A | 2008-05-08 | |||
| JP2010250076A | 2010-11-04 | |||
| JP2012072109A | 2012-04-12 | |||
| JP2012008553A | 2012-01-12 | |||
| JP2014115622A | 2014-06-26 | |||
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| JP2014191121A | 2014-10-06 | |||
| JP2015024978A | 2015-02-05 | |||
| JP2013041251A | 2013-02-28 | |||
| JP2012190008A | 2012-10-04 | |||
| JP2012226335A | 2012-11-15 | |||
| JP2013257553A | 2013-12-26 | |||
| JP2014029494A | 2014-02-13 |
Foreign References:
| WO2013172239A1 | 2013-11-21 |
Other References:
化学大辞典７, JPN6018000354, 30 October 1961 (1961-10-30), pages ７９３, ISSN: 0003716219
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Koei Patent Office
Takeshi Takamatsu
Toshiyuki Ozawa
Takeshi Takamatsu
Toshiyuki Ozawa