Title:
パターニング方法およびパターニング装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017169493
Kind Code:
A1
Abstract:
光硬化パターン（硬化物）を離型層から剥離する必要がなく、簡便かつ短時間で光硬化パターンを形成することができるパターニング方法を提供する。パターニング方法は、（i）光照射面を有する底部を備える造形用トレイに、比重ｄ1を有する液状の離型材料、および比重ｄ1より小さい比重ｄ2を有し、かつ離型材料と相分離する液状のパターニング材料を供給して、底部に接触する離型材料の第１液層を設け、第１液層上にこれと接触するパターニング材料の第２液層を形成して、第２液層の第１液層との界面近傍にパターニング材料の液膜を形成する工程と、（ii）第１液層を介して液膜に対して光を照射して、液膜を光硬化させ、パターンを形成する工程と、を備える。
Inventors:
Koji Watanabe
Application Number:
JP2017534633A
Publication Date:
April 05, 2018
Filing Date:
March 01, 2017
Export Citation:
Assignee:
Nagase Chemtex Co., Ltd.
International Classes:
B29C64/124; B29C64/245; B29C64/268; B33Y10/00; B33Y30/00
Attorney, Agent or Firm:
Shinichi Kawasaki
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