Title:
フィルターおよびその製造方法、並びに、ドライエッチング用装置およびドライエッチング方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017169809
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、被ろ過物と接触する部分の少なくとも一部が金属製または金属化合物製であっても、フッ素化飽和炭化水素を高濃度で含有する組成物をろ過した際にフッ素化飽和炭化水素が分解するのを抑制することが可能なフィルターを提供する。本発明のフィルターは、被ろ過物と接触する、金属製または金属化合物製の部分と、当該部分の表面に吸着したアミン化合物とを備える。また、本発明のフィルターの製造方法は、被ろ過物と接触する、金属製または金属化合物製の部分の表面にアミン化合物を接触させる工程を含む。
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Inventors:
Hyakutake Munehiro
Takaaki Hirano
Takaaki Hirano
Application Number:
JP2018509001A
Publication Date:
February 14, 2019
Filing Date:
March 15, 2017
Export Citation:
Assignee:
Zeon Corporation
International Classes:
B01D39/20; H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Yuta Terashima
Mitsutsugu Sugimura
Yuta Terashima