Title:
感放射線樹脂組成物および電子部品
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018179807
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、現像残渣の発生が十分に抑制されていると共に、優れた伸長性を備える樹脂膜を形成可能な感放射線樹脂組成物の提供を目的とする。本発明の感放射線樹脂組成物は、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体（Ａ−１）、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体（Ａ−２）、２官能エポキシ化合物（Ｂ）、および感放射線化合物（Ｃ）を含有し、前記環状オレフィン重合体（Ａ−１）の重量平均分子量が１０００以上１００００未満であり、前記環状オレフィン重合体（Ａ−２）の重量平均分子量が１００００以上１０００００以下であり、そして、前記環状オレフィン重合体（Ａ−２）の含有量が、前記環状オレフィン重合体（Ａ−１）と前記環状オレフィン重合体（Ａ−２）の合計含有量の５質量％以上５５質量％以下である。
Inventors:
Makoto Fujimura
Application Number:
JP2019508659A
Publication Date:
February 06, 2020
Filing Date:
January 31, 2018
Export Citation:
Assignee:
Zeon Corporation
International Classes:
G03F7/023; C08G59/22; C08G61/12; G03F7/004; G03F7/075
Domestic Patent References:
| JP2015225097A | 2015-12-14 | |||
| JP2006100464A | 2006-04-13 | |||
| JP2002072484A | 2002-03-12 | |||
| JP2016531191A | 2016-10-06 |
Foreign References:
| US20060177764A1 | 2006-08-10 | |||
| WO2015141719A1 | 2015-09-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Rintaro Takahashi
Mitsutsugu Sugimura
Rintaro Takahashi