Title:
ポッドオープナー
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019073823
Kind Code:
A1
Abstract:
容器を開扉して、容器内部に積み重ねて配置されるカセットを搬送ロボットのフィンガがアクセス可能な状態にするポッドオープナーを安価に提供する。本発明のポッドオープナーは、カセットを鉛直方向に昇降移動させる昇降機構と、カセットが備える係合手段と係合して、前記カセットを支持する第１のフック部材と、第１のフック部材によって支持される第２のフック部材と、第１のフック部材と第２のフック部材とをカセットに対して前進及び後退移動させる進退機構と、第２のフック部材を上方へ付勢する付勢部材と、カセットが配置される内部空間を所定の雰囲気に維持する雰囲気維持装置とを備え、第２のフック部材は第１のフック部材に対して変位可能に構成する。
Inventors:
Katsunori Sakata
Application Number:
JP2019548125A
Publication Date:
November 19, 2020
Filing Date:
September 28, 2018
Export Citation:
Assignee:
Lhotse Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/677; H01L21/673
Domestic Patent References:
| JP2009540556A | 2009-11-19 | |||
| JP2000266796A | 2000-09-29 | |||
| JP2006310709A | 2006-11-09 | |||
| JP2008258188A | 2008-10-23 |
Foreign References:
| WO2013021645A1 | 2013-02-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Ryo Matsushita