Title:
長尺積層シートおよびその巻収体
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019146607
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】円形の樹脂膜形成層付ダイシングシートに代えて、矩形の樹脂膜形成層付支持シートを提供し、樹脂膜形成層の有効面積率を増大させること。さらには、樹脂膜形成層付支持シートの剥離（ベロ出し）を確実に行える技術を提供する。【解決手段】本発明の長尺積層シートは、略矩形の支持シートと、該支持シート上に形成され、支持シートと略同形状の樹脂膜形成層と、樹脂膜形成層の表面の外周部に形成された略矩形の開口部を有するリングフレーム保持手段を有する樹脂膜形成層付支持シートと、長尺の剥離シートとを含み、該剥離シートの剥離処理面上の短手方向両端には、長尺の補助シートが連続して積層されてなり、該剥離シートの剥離処理面上の短手方向内側には、剥離シートの長手方向に沿って複数の樹脂膜形成層付支持シートが剥離可能に独立して仮着されてなることを特徴とする。また、該長尺積層シートを送り出し、樹脂膜形成層付支持シートを長尺の剥離シートから剥離しつつ被着体に貼付する際に、該被着体に最初に接する樹脂膜形成層付支持シートの先端辺の形状が、樹脂膜形成層付支持シートの外側に凸状であることが好ましい。【選択図】図２
Inventors:
Atsushi Kamido
Naoya Okamoto
Nakaishi Yasuyoshi
Naoya Okamoto
Nakaishi Yasuyoshi
Application Number:
JP2019567093A
Publication Date:
January 07, 2021
Filing Date:
January 22, 2019
Export Citation:
Assignee:
LINTEC CORPORATION
International Classes:
H01L21/301; H01L21/683
Domestic Patent References:
| JP2010083921A | 2010-04-15 |
Foreign References:
| WO2015146254A1 | 2015-10-01 | |||
| WO2015059944A1 | 2015-04-30 | |||
| WO2015190230A1 | 2015-12-17 | |||
| WO2016027883A1 | 2016-02-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Maeda/Suzuki International Patent Corporation