Title:
研磨パッド、研磨工具、及び研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020054823
Kind Code:
A1
Abstract:
種々の曲率の曲面に対しても研磨面が追従して、研磨対象物が有する曲面状の被研磨面の研磨を行い、曲面状の被研磨面のうねりを除去することが可能な研磨パッドを提供する。研磨パッド（１０）は、研磨面（１０ａ）を有する研磨層（１）と、弾性体からなり且つ研磨層（１）を支持する支持層（２）と、を備える積層体で構成される。研磨層（１）の外縁よりも内側の領域には、研磨層（１）を厚さ方向に貫通する貫通部（１ａ）が形成されている。さらに、研磨層（１）は、ＪＩＳ Ｋ６２５３−３：２０１２に規定されたデュロメータ硬さタイプＡが３０以上である素材で形成されている。
Inventors:
Heaven High Kyosuke
Shota Hishida
Daisuke Yasui
Eiji Hase
Hotta Kazutori
Shota Hishida
Daisuke Yasui
Eiji Hase
Hotta Kazutori
Application Number:
JP2020546207A
Publication Date:
August 30, 2021
Filing Date:
September 12, 2019
Export Citation:
Assignee:
Fujimi Incorporated Co., Ltd.
International Classes:
B24B37/26; B24B37/00; B24B37/22; B24B37/24
Attorney, Agent or Firm:
Hide Tanaka Tetsu
Yuki Yamada
Tetsuya Mori
Yuki Yamada
Tetsuya Mori