Title:
感光性樹脂組成物、硬化膜、及び、硬化膜を備える電子装置及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020080266
Kind Code:
A1
Abstract:
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、感光剤（Ｂ）、及び溶剤（Ｃ）を含み、前記溶剤（Ｃ）が水溶性かつ沸点１３０℃以上であるグリコールエーテル構造を有する溶剤（Ｃ−１）を含む、永久膜形成用の感光性樹脂組成物。
Inventors:
Taro Kitahata
Application Number:
JP2020509127A
Publication Date:
February 15, 2021
Filing Date:
October 10, 2019
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Bakelite Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/004; G03F7/023; G03F7/075; G03F7/20; H05K3/28
Domestic Patent References:
| JP2003156838A | 2003-05-30 | |||
| JP2019176020A | 2019-10-10 | |||
| JP2014071373A | 2014-04-21 | |||
| JP2014162818A | 2014-09-08 | |||
| JP2005292276A | 2005-10-20 | |||
| JP2013130816A | 2013-07-04 |
Foreign References:
| WO2016031928A1 | 2016-03-03 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinji Hayami