Title:
収納装置および基板加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020090517
Kind Code:
A1
Abstract:
複数の基板（Ｗ）が引き出し可能に積層して収容されたカセット（１０、２０）から基板（Ｗ）を引き出して処理工程に供するために、カセット（１０、２０）を収納する収納装置（１００）であって、カセット（１０、２０）が着脱可能に載置される載置部（１１０）と、カセット（１０、２０）の着脱位置とカセット（１０、２０）の収納位置との間で載置部（１１０）を水平に移動させる移動部（１２０）と、載置部（１１０）に昇降可能に支持され、載置部（１１０）に載置されたカセット（１０、２０）の奥側の端面に対向する規制部（１３０）と、を備える。
Inventors:
Osamu Okuda
Application Number:
JP2020553784A
Publication Date:
September 16, 2021
Filing Date:
October 18, 2019
Export Citation:
Assignee:
Samsung Diamond Industry Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/677; H01L21/301; H01L21/673
Domestic Patent References:
| JP2015138856A | 2015-07-30 | |||
| JPH0778794A | 1995-03-20 | |||
| JP2004301290A | 2004-10-28 | |||
| JP2014078656A | 2014-05-01 | |||
| JP2003012146A | 2003-01-15 | |||
| JP2000269294A | 2000-09-29 | |||
| JP2013161972A | 2013-08-19 | |||
| JP2002064136A | 2002-02-28 | |||
| JP2009200201A | 2009-09-03 | |||
| JPS6347036A | 1988-02-27 |
Foreign References:
| KR101739850B1 | 2017-06-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Masamasa Shibano
Makoto Ohashi
Makoto Ohashi