Title:
研磨材自動交換装置、及びそれを備える研磨材自動交換システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6884292
Kind Code:
B1
Abstract:
シート状研磨材のコスト低減を図りながら、高回転数や高押付圧といった高負荷条件で研磨した場合でもシート状研磨材を容易に剥離させることができる研磨材自動交換装置を提供する。研磨具の先端部分からシート状研磨材Ｐ１を剥離するための研磨材剥離部１０、シート状研磨材Ｐ１を剥離した研磨具４の先端部分４０に対して、別のシート状研磨材を貼着するための研磨材供給部３０、並びに、研磨具４、研磨材剥離部１０、及び研磨材供給部３０のそれぞれの動作を制御する制御部を備え、研磨材剥離部１０が、シート状研磨材Ｐ１を吸引する吸引部２０、及び研磨具４とシート状研磨材Ｐ１との間に進入する剥離板１３を備え、吸引部２０によってシート状研磨材Ｐ１を吸引しつつ、剥離板１３によって研磨具４からシート状研磨材Ｐ１を剥離することを特徴とする。
Inventors:
Yoshio Azuma
Keiichi Hayashi
Hiroyuki Suzuki
Keiichi Hayashi
Hiroyuki Suzuki
Application Number:
JP2020565999A
Publication Date:
June 09, 2021
Filing Date:
November 17, 2020
Export Citation:
Assignee:
Atmosphere Co., Ltd.
International Classes:
B24B45/00; B24B27/00; B24B49/10; B24B49/12; B24B55/06; B24D11/00
Domestic Patent References:
| JPH08252765A | 1996-10-01 | |||
| JPH0574753U | 1993-10-12 | |||
| JPH05154756A | 1993-06-22 | |||
| JP2001148361A | 2001-05-29 | |||
| JP2011036980A | 2011-02-24 |
Foreign References:
| CN210550451U | 2020-05-19 | |||
| US20190152015A1 | 2019-05-23 | |||
| KR20140011669A | 2014-01-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation r&c