Title:
研磨剤リサイクル方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013069720
Kind Code:
A1
Abstract:
珪素成分やアルミニウム成分の除去率が高く、使用前の新品の研磨剤と同等の研磨性能を有する研磨剤を簡便に使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤からリサイクルする方法を提供することを目的とする。使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤から研磨剤をリサイクルする方法であって、使用済み酸化セリウム系ガラス研磨剤のスラリーのｐＨを０．５〜３．０の範囲に調整すること含む方法。
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Inventors:
Uehara Taishi
Koji Fujita
Yoshihiro Honma
Koji Fujita
Yoshihiro Honma
Application Number:
JP2013543019A
Publication Date:
April 02, 2015
Filing Date:
November 08, 2012
Export Citation:
Assignee:
DOWA ECO-SYSTEM Co., Ltd.
International Classes:
B24B57/02; C09K3/14
Domestic Patent References:
| JP2008124213A | 2008-05-29 | |||
| JP2008279552A | 2008-11-20 | |||
| JPH10280060A | 1998-10-20 | |||
| JP2007276055A | 2007-10-25 |
Foreign References:
| WO2010084635A1 | 2010-07-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation Tsukuni
Hajime Tsukuni
Yasuo Yanagibashi
Satoko Ito
Toshio Miyake
Akio Shibata
Yoko Tanaka
Masatoshi Ando
Hajime Tsukuni
Yasuo Yanagibashi
Satoko Ito
Toshio Miyake
Akio Shibata
Yoko Tanaka
Masatoshi Ando