Title:
研磨剤用添加剤および研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013099595
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、繰り返し使用される研磨剤に対して、繰り返し使用の間に随時添加することで、研磨剤の研磨特性、特に研磨速度の低下を抑制することが可能な研磨剤用添加剤に関する。また本発明は、繰り返し使用される研磨剤を用いた研磨方法において、研磨剤の研磨特性、特に研磨速度の低下を抑制することが可能な研磨方法に関する。
Inventors:
Yuiko Yoshida
Iori Yoshida
Takemiya Satoshi
Iori Yoshida
Takemiya Satoshi
Application Number:
JP2013551585A
Publication Date:
April 30, 2015
Filing Date:
December 11, 2012
Export Citation:
Assignee:
Asahi Glass Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B24B37/00; B24B57/02
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Sakura International Patent Office
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