Title:
原子層堆積反応器装置および原子層堆積反応器装置の操作方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024515511
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、原子層堆積炉および原子層堆積炉の運転方法に関する。反応器（１０）は、搬入開口部（２５）が設けられた搬入壁（２１）を有する真空チャンバ（２０）と、反応器ドア（３００）を有する反応器ドアアセンブリ（４００）とを含む。反応器ドアアセンブリ（４００）は、反応器ドア（３００）が搬入壁（２１）に当たって、搬入開口部（２５）を閉じるように配置された第１のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入壁（２１）から離れて、搬入壁（２１）と対向している第２のドア位置との間で反応器ドア（３００）を移動させるように構成されている。反応器ドアアセンブリ（４００）は、さらに、第２のドア位置と、反応器ドア（３００）が搬入開口部（２５）の脇にある第３のドア位置との間で、反応器ドア（３００）を移動させるように構成されている。
Inventors:
Andersson, Jonas
Weslin, Johannes
Soininen, Pecca
Weslin, Johannes
Soininen, Pecca
Application Number:
JP2023560636A
Publication Date:
April 10, 2024
Filing Date:
March 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Beneq Oy
International Classes:
C23C16/44; F16J13/16; G21F3/00; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Norito Yamao
Haruhiko Ema
Masayuki Shikimi
Ken Takaoka
Haruhiko Ema
Masayuki Shikimi
Ken Takaoka