Title:
基板搬送装置及び基板洗浄装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3223771
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】基板を円滑に搬送させることが可能な基板搬送装置、及び基板を良好に洗浄することができる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置は、互いに逆方向へ回転される下側ローラ１３及び上側ローラ１５を有し、下側ローラと上側ローラとによってガラス板Ｇを挟持して搬送する搬送部１１を備え、下側ローラは、ガラス板の搬送方向に直交する幅寸法よりも長い範囲にわたって樹脂製の表層部２６を有し、表層部がガラス板の下面における幅方向の全範囲に当接され、上側ローラは、長尺のシャフト３１と、シャフトの両端近傍に設けられたゴム製の弾性リング３３とを有し、弾性リングがガラス板の上面における幅方向の両縁部近傍箇所に当接される。基板洗浄装置は、搬送部１１が複数配列され、搬送部の間に基板の上下面を洗浄する洗浄機構部を有する。【選択図】図３
Inventors:
Tomoaki Ishikawa
Masaki Matsutani
Masaki Matsutani
Application Number:
JP2019003113U
Publication Date:
October 31, 2019
Filing Date:
August 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
AGC Inc.
International Classes:
B65G13/00; B65G49/06; H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation glory patent office
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