Title:
帯電緩和システムそれらを備える装置および帯電緩和方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024022892
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】帯電を簡便かつ高速に解消することが可能な帯電緩和システムそれらを備える装置および帯電緩和方法を提供する。【解決手段】対象となる絶縁体の帯電量を制御する帯電緩和システムであって、絶縁体あるいはその周囲の電極に対してパルス電圧を印加可能なパルス電源と、パルス電圧の印加電圧幅および印加時間幅の組合せをパラメータとしてパルス電源を制御するパルス電源制御部と、パルス電源によって印加されたパルス電圧により絶縁体に流れる電荷量を計測する電流計と、絶縁体あるいはその周囲の電極に対して印加したパルス電圧の印加電圧幅および印加時間幅の組合せと電流計で計測した電荷量の関係を記憶する記憶部を備える構成とする。【選択図】図１
Inventors:
Naura Terao
Toshiyuki Yokosuka
Hiroshi Morita
Hideyuki Kotsuji
Toshiyuki Yokosuka
Hiroshi Morita
Hideyuki Kotsuji
Application Number:
JP2022126332A
Publication Date:
February 21, 2024
Filing Date:
August 08, 2022
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
International Classes:
H01J37/20; H01J37/244; H01J37/248; H05F3/02
Attorney, Agent or Firm:
Polaire Patent Attorneys Corporation