Title:
チャックテーブル、研削装置及び保持面形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024060805
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】反り上がったウェーハを研削して均一な厚みに形成する。【解決手段】ウェーハ１００の中央部を保持する中央吸引部１７と外周部を保持する外周保持部１８との間に設けた弾性チューブ２０にエアを供給してその上端を外周が反り上がったウェーハ１００の下面１００ｂに接触させ、研削砥石５７でウェーハ１００の上面１００ａを研削してウェーハ１００の反り上がる力を弱め、弾性チューブ２０のエアを排出して中央保持面２１及び外周保持面２２でウェーハ１００の下面１００ｂを保持してウェーハ１００の上面１００ａを研削し、弾性チューブ２０にエアを供給し中央保持面２１及び外周保持面２２に吸引保持されたウェーハ１００の下面１００ｂに弾性チューブ２０を接触させ研削砥石５７でウェーハ１００の上面１００ａを研削してウェーハ１００を所定の厚みにする。【選択図】図５
Inventors:
Yu the Great
Yoo Tae-seob
Takayo Urayama
Yoo Tae-seob
Takayo Urayama
Application Number:
JP2022168322A
Publication Date:
May 07, 2024
Filing Date:
October 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B41/06; B23Q3/08; B24B7/04; B24B49/04; B24B49/10; B24B55/06; H01L21/304; H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office
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