Title:
Cleaning fluid and a cleaning method of a polish device for glass
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5910841
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】無アルカリガラスをフッ化水素酸を主成分とする研磨液で研磨すると、ガラス表面上や、研磨装置の貯留部および配管内でスラッジが発生し、品質劣化、装置の停止といった問題が発生する。【解決手段】ガラス研磨装置で生成するアルミニウムとフッ素を含むスラッジを溶解する洗浄液であって、Ａｌ３＋イオンを含むことを特徴とする洗浄液は、ＡｌとＦおよびＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａといった２価の元素が結合してできたスラッジを溶解させることができる。この洗浄液を用いて研磨装置内を洗浄することで課題は解決される。【選択図】図６
Inventors:
Nishikawa Haruka
Tomoyuki Ieda
Kazuya Shimada
Tomoyuki Ieda
Kazuya Shimada
Application Number:
JP2015063097A
Publication Date:
April 27, 2016
Filing Date:
March 25, 2015
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
C03C23/00; B08B3/08; B24B55/12; C03C19/00
Domestic Patent References:
| JP2009215093A | 2009-09-24 | |||
| JP2009215093A | 2009-09-24 |
Foreign References:
| WO2014181552A1 | 2014-11-13 | |||
| WO2012150719A1 | 2012-11-08 | |||
| WO2013183681A1 | 2013-12-12 | |||
| WO2014181552A1 | 2014-11-13 | |||
| WO2009157378A1 | 2009-12-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Masaki Hiroyuki
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