電子部品・部材の洗浄水供給装置及び電子部品・部材の洗浄水の供給方法

Title:

電子部品・部材の洗浄水供給装置及び電子部品・部材の洗浄水の供給方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP6977845

Kind Code:

B1

Abstract:

【課題】超純水に導電率付与物質や酸化還元電位コントロール物質などを溶解することで各種機能を付与した洗浄水をウエハ洗浄機に供給する際の洗浄水の微細気泡を抑制可能な電子部品・部材の洗浄水供給装置を提供する。【解決手段】電子部品・部材の洗浄水供給装置１は、調製槽２に導電性付与物質、酸化還元電位調整物質及びｐＨ調整物質から選ばれた１種以上の機能性成分の供給源に連通した薬剤添加管３と、超純水源に連通した供給ポンプ５を備えた原料水供給管４とが接続した構成を有する。この調製槽２には、さらに窒素ガス（Ｎ２）供給管６が接続している。そして、調製槽２には、送液ポンプ９を備えたユースポイント（ＵＰ）に連通する洗浄水供給管８が接続されていて、この洗浄水供給管８には、脱気膜１０が設けられている。【選択図】図１

Inventors:

Yuichi Ogawa

Application Number:

JP2020166026A

Publication Date:

December 08, 2021

Filing Date:

September 30, 2020

Export Citation:

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