Title:
複合材料、ヒートシンク及び半導体装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6980161
Kind Code:
B1
Abstract:
本開示の複合材料は、複数のダイヤモンド粒子と、銅と、珪素、クロム、コバルト、ニッケル、モリブデン、チタン、バナジウム、ニオブ、タンタル及びタングステンからなる群より選ばれる少なくとも１種の第１元素と、を含み、前記銅及び前記第１元素の合計質量に対する前記第１元素の含有率は５０ｐｐｍ以上２０００ｐｐｍ以下である。
Inventors:
Masatoshi Mashima
Gohei Toyoshima
Koichi Takashima
Gohei Toyoshima
Koichi Takashima
Application Number:
JP2021535214A
Publication Date:
December 15, 2021
Filing Date:
March 03, 2021
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Allied Material Co., Ltd.
Allied Material Co., Ltd.
International Classes:
C22C1/05; C22C26/00; C25D7/00; H01L23/373
Domestic Patent References:
| JP2017075397A | 2017-04-20 | |||
| JPH04259305A | 1992-09-14 |
Foreign References:
| WO2019163721A1 | 2019-08-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office