Title:
補正板を使用した光学システムの収差及びアポダイゼーションの補正
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024505557
Kind Code:
A
Abstract:
収差補正を有する光学システムが開示される。光学システムは照明源を含み得る。光学システムは検出器を含み得る。光学システムは、照明源からの照明に基づいてサンプルを検出器上に結像するように構成された１つ以上の集光光学素子を含み得る。光学システムは、１つ以上の集光光学素子の１つ以上の瞳面に位置する２つ以上の収差補正板を含み得る。２つ以上の収差補正板は、２つ以上の線形独立収差項の少なくとも部分的な補正を提供し得る。２つ以上の収差補正板のうちの任意の特定の１つは、空間的に変化する厚さプロファイルを有し、２つ以上の線形独立収差項のうちの単一の特定の収差項に対して選択された量の補正を提供し得る。
Inventors:
Fun Heifen
See Louie-Fung
Walsh Joseph
lindsay mitchell
Vera Eric
See Louie-Fung
Walsh Joseph
lindsay mitchell
Vera Eric
Application Number:
JP2023546431A
Publication Date:
February 06, 2024
Filing Date:
January 28, 2022
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G02B21/00; G02B13/00
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office