Title:
亀裂進展装置及び亀裂進展方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032712
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ウェハの割断を良好に行えるようにする。【解決手段】ウェハの内部の亀裂を進展させる亀裂進展装置であって、前記ウェハの裏面の研削が行われるときの給水を制御することにより前記亀裂の伸展度合いを変化させる亀裂進展手段を備える。【選択図】図１８
Inventors:
Tsubasa Shimizu
Shuhei Oshida
Akira Uekihara
Takashi Fujita
Shuhei Oshida
Akira Uekihara
Takashi Fujita
Application Number:
JP2023218767A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
December 26, 2023
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/301; B24B7/00; B24B55/02; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Matsuura
Constitutional Matsuura
Kazuki Ohara
Kiyoshi Matsumura
Constitutional Matsuura
Kazuki Ohara
Kiyoshi Matsumura